藍寶石增粘烘箱， HMDS烘箱將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。
HMDS烘箱原理，2-12寸晶圓預處理烘箱通過對烘箱 HMDS 預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間 等參數的編輯，可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量， 提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS烤箱機臺，HMDS預處理烘箱箱體外殼采用高級不銹鋼制作，內膽為316L醫用不銹鋼材料制成；加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
晶圓HMDS烤箱預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
