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HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機臺。

OAP烘箱，OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面，變為疏水性，從而達到增加光刻膠粘附性的作用。

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silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、預處理性能更好 2、處理更加均勻 3、效率高 4、更加節省藥液 5、更加環保和安全 6、低液報警裝置 7、可自動吸取HMDS功能 8、可自動添加HMDS功能 9、HMDS藥液泄漏報警功能 10、HMDS緊急疏散功能 11、數據記錄打印功能

智能型HMDS烘箱，全自動HMDS預處理系統預處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達4盒的晶片；更加節省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業。