無塵class100烘箱，MES接口無塵烘箱用于IC,晶圓等電子、半導體、醫療行業高潔凈度烘烤制程工藝
無塵class100烘箱，MES接口無塵烘箱技術參數：
用途 | 用于IC,晶圓等電子、半導體、醫療行業高潔凈度烘烤制程工藝 |
溫度范圍 | 室溫＋10℃～250℃ |
溫度波動度 | 恒溫溫度波動±0.5℃ |
溫度均勻度 | ≤±2℃ |
工作室尺寸（mm） | 450（深）*450（寬）*600（高）（可自定） |
潔凈度 | Class100 |
氣體過濾 | 配有氣體過濾裝置，保證腔體內潔凈度為100級 |
隔板要求 | 每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成 |
箱體外壁材料 | 冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304） |
箱體內壁材料 | 為不銹鋼板內壁氬弧焊（SUS316或SUS304） |
保溫材料 | 優質超細納米玻璃棉 |
氮氣接口 | 能將箱內空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行 |
控制方式 | 人機界面+PLC控制 |
氮氣流量 | 0.3~0.5M3/H(可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監控記錄曲線） |
超溫保護 | 采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動作時，超溫保護裝置自動切斷加熱電源并進行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調 |
計時方式 | 溫度達到制程設定值后開始計時. |
排風口 | 直徑114mm的排風口,且安裝有調節風閥 |
電氣安全保護 | 風機過載保護、加熱系統超溫保護、電磁門鎖保護、安全接地保護. |
MES軟件 | 可連接MES系統 |
作業時掃碼可實現自動調取所需作業程序,作業員只需確認是否正確 | |
自動記錄作業累計次數，作業批號,作業人員,作業起止日期及時間,作業溫度曲線,作業條件,可自動生成Excel報表 | |
有權限操作員需掃碼后才可操作此設備,且自動記錄作業人員
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無塵class100烘箱，MES接口無塵烘箱用途：
無塵烘箱用于IC生產過程中極為重要的光刻工藝中預烘烤（軟烘），脫水烘烤，涂膠后的堅膜烘烤（硬烘）；也適用于電子液晶顯示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
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