晶圓精密循環烤箱，硅片循環烘箱概述

晶圓精密循環烤箱，硅片循環烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結構、材質強度、保溫、循環風道等均設計精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環系統為水平式循環送風，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達±1.5％，當門開、關動作引起擾動時，可借此送風循環系統迅速回復操作狀態溫度值。

用途

精密循環烤箱適用于烘烤有化學性氣體欲烘烤物品、基板應力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于PCB、電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、印刷、噴涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高溫去應力、老化、烘干、定型、加工等。

參數   

Ø  內置強制送風循環，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部， 且將使用后熱風吸入風道成為風源再度循環加熱，由此減小能量損耗并保證箱內的溫度均勻性，當門 開、關動作 引起擾動時，可借此送風循環系統迅速回復操作狀態溫度值，配置可調進出氣口，風路循環順暢，換氣快，避免可燃氣體的濃度過高造成自燃爆炸。   

Ø  馬達為中國臺灣進口長軸耐高溫型                         

Ø  超高溫保護：當箱內溫升異常時，自動切斷整機電源。           

Ø  瓷質保險絲。           

Ø  馬達過熱保護：防止電機過熱造成電機損傷，           

Ø  相序保護：防止電力缺相和相序錯誤，保證電機的安全。         

Ø  計時器，蜂鳴器提示，保證工作時間的準確。