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HMDS預處理機H-2  智能HMDS真空烘箱
HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱

HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱為半導體應用的光刻膠粘合促進劑工藝設備,

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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變為疏水性,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS預處理烘箱
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱保護裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報&警提示,HMDS低液位報&警,超溫保護,漏電保護,過熱保護等

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HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱
HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱

HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱可快速、均勻、經濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

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HMDS烘箱  圖像反轉系統 HMDS涂膠機
HMDS烘箱 圖像反轉系統 HMDS涂膠機

HMDS烘箱 圖像反轉系統 HMDS涂膠機使用HMDS(六甲基二硅氮烷)對晶圓表面進行快速、均勻、經濟高效的涂布,以提高光刻膠的附著力。這些多功能系統還支持圖像反轉,形成具有與正光刻膠相同的分辨率和易用性的負圖像。

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光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應用多晶硅,石英,太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

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HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵
HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵

HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵較小的噪音 - 一臺干泵卻擁有較好的真空度,較大的抽速 - 停機時間短,維護成本更低

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